진화된 측정 파라미터 자동 조정 기능을 표준 탑재함과 더불어, 쉬운 GUI로 새롭게 단장했습니다.

센서 내장형 레버로 레이저 조정이 필요하지 않아 관찰 준비부터 측정까지 간편하게 사용 가능한 소형 SPM입니다. 탁상 설치를 통하여 언제 어디에나 설치 가능한 공간 절약형 설계를 실현하였습니다.

진공・액체 내・가스・온도・습도 등 다양한 환경 니즈에 대응하는 환경 제어형 SPM입니다. 전자 Device와 같은 전기 물성 평가에 필수적인 흡착수 영향 등을 배제한 고진공 하에서의 평가를 실현합니다. 아울러 전용 분위기 차단 홀더를 통하여 SEM, IM, SPM 사이를 대기 노출 없이 반송할 수 있어 2차전지 등을 평가 할 때 최적입니다.

XY200 µm 의 넓은 영역 주사와 더불어, 뒤틀림을 억제한 Flat 스캐너로 직선성 높은 계측을 실현할 수 있는 중형 SPM입니다. 또한 Cantilever의 장착・교환, 광축 조정을 자동화함에 따라 Operator의 부담을 큰 폭으로 경감하였습니다. 또한, SEM과 SPM 시료의 동일한 부분을 간단하게 측정할 수 있는 AFM&SEM Linkage System 탑재가 가능합니다.